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合肥真萍電子科技有限公司，是安徽旭騰微電子設(shè)備有限公司全資子公司，總部位于合肥經(jīng)開區(qū)天都路4345號(hào)真萍科技產(chǎn)業(yè)園，是一家專注于熱（+30-1600℃）、真空（1-1*10-6torr）、高壓(10MPa)等設(shè)備的半導(dǎo)體裝備行業(yè)企業(yè)。
技術(shù)團(tuán)隊(duì)主要由一批多年從事熱工、流體、結(jié)構(gòu)、半導(dǎo)體等行業(yè)的專業(yè)工程技術(shù)人員為核心組成，現(xiàn)有研發(fā)人員120余人，均為本科及以上學(xué)歷。目前已取得多項(xiàng)國家專利，包括發(fā)明型和軟件；通過ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證和以及SEMI S2認(rèn)證。目前，自有廠房面積約35000平米，潔凈車間約9000平米，是具有設(shè)計(jì)、制造、銷售及售后服務(wù)能力的綜合性企業(yè)。
2022年，合肥國有資本方“創(chuàng)新投”及“海恒資本”戰(zhàn)略投資真萍科技母公司安徽旭騰微電子設(shè)備有限公司，融資融智，加速推進(jìn)公司產(chǎn)品技術(shù)研發(fā)進(jìn)程，助力完善半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)鏈拼圖。
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